六氟化钨

　　一、标识

　　中文名：六氟化钨          英文名：Tungsten hexafluoride
　　分子式：WF6                分子量：297.8
　　CAS号：7783-82-6          危险性类别：第2.3类有毒气体

　　二、理化性质

　　熔点：2.3      沸点：17.5      相对密度（水=1）：3.44

　　三、主要用途

　　在微电子工业和材料加工改性中，六氟化钨用于离子注入或化学气相沉积硅化钨或钨膜，用以制作低电阻、离熔点的电路互连线和栅极，还有抗X射线或γ射线的保护罩，高效太阳能吸收器。

　　三、运输方式

　　包装类别：Ⅱ                   包装标志：6

　　四、储运注意事项

　　储存于阴凉、干燥、通风良好的不易燃库房。远离火种、热源。防止阳光直射。防止受潮。与其他物品分开存放。平时要注意检查容器是否有泄漏现象。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。

　　五、泄漏处理

　　疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿厂商特别的化学防护服（完全隔离）。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发（或扩散），但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内，抽排（室内）或强力通风（室外）。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。